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我国首套钻锚一体化智能快掘成套装备成功下线

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(d)在空白的NPSS,钻锚满层石墨烯覆盖的NPSS和图案化石墨烯覆盖的NPSS上生长的AlN薄膜的(102)和(002)摇摆曲线的FWHM直方图。化智(b-c)所选定的c-面和r-面蓝宝石的模型的侧视图。

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(c)乙醇前驱体、掘成低压体系下,获得的满层石墨烯的SEM图像。套装(d)满层石墨烯覆盖的NPSS的典型拉曼光谱。在随后的紫外发光二极管(UV-LED)应用中,备成作者发现图案化的石墨烯可以实现AlN的选择性成核,备成从而保障了成核取向的一致性,并促进AlN的快速横向外延生长(ELOG),从而得到低位错密度的单晶AlN薄膜

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